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場發(fā)射掃描電子顯微鏡 FE-1050系列

儀器名稱:場發(fā)射掃描電子顯微鏡 FE-1050系列

儀器型號:FE-1050系列

制  造  商:納克微束

原  產(chǎn)  地:中國北京

聯(lián)系電話:010-67802360

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技術(shù)規(guī)格

型號FE-1050系列
1.電子光學系統(tǒng)
電子槍Schottky 場發(fā)射型
物鏡類型非浸沒電磁復合透鏡
加速電壓0.02-30KV
束斑電流10pA 至 30nA(100nA 選配)
放大倍數(shù)10x - 1,000, 000x
分辨率SE1.5nm(1KV)、0.9nm(15KV)
BSE(選配)2.5nm(1KV)、1.5nm(15KV)
STEM0.8nm(30KV)
2.真空系統(tǒng)
離子泵(IGP)25 L/s+2X20L/s
渦輪分子泵(TMP)250 L/s (N2)
前級真空泵15m3/h 機械泵、無油渦旋機械泵(選配)
電子槍真空<1.0x10-7 Pa
主樣品室極限真空<1.0x10-4 Pa
樣品室接口數(shù)27 個
預抽室50mm 樣品托盤自動送樣
4/6 英寸晶圓自動送樣(選配)
預抽室光學導航
3.樣品運動平臺
樣品臺行程X140mm
Y140mm
Z60mm
R連續(xù) 360°
T-10°~80°
重復定位精度X/Y/Z≤1um(選配)
樣品最大承重5kg
4.圖像處理系統(tǒng)
最小駐留時間20ns
采集方式4 通道同步采集
最大圖像分辨率24kx24k 像素
5.數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)
CPUIntel Xeon E5 及以上處理器
內(nèi)存32G
顯卡顯存≥24G,位寬≥384bit
顯示器34 英寸超寬屏顯示器
控制臺人體工程學可升降操控臺
6.探測器系統(tǒng)
檢測器In-Column SE 探測器
ET- SE 探測器
插入式 BSE 探測器(選配)
STEM 探測器(選配)
紅外 CCD 主腔室監(jiān)控-3 路
附件(選配)斜插式能譜儀(EDS)
平插式能譜儀(Flat-EDS)
波譜儀(WDS)
電子背散射衍射儀(EBSD)
陰極熒光探測器(CL)
聚焦離子束(FIB)
原位拉伸加熱臺/制冷臺
冷凍轉(zhuǎn)移樣品倉等第三方附件設(shè)備

產(chǎn)品簡介

FE-1050系列高分辨(場發(fā)射)掃描電鏡,配備新一代電子光學鏡筒,具備優(yōu)越電子光學性能,重點優(yōu)化了低電壓下高分辨力,實現(xiàn)1.5nm(1kV),
可以輕松觀測易受電子輻照損傷的樣品。

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計量校準

010-62182413
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0532-85879696

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